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    浙江大学温州研究院2022年1月政府采购意向

    发布时间：2022-01-14打印

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           为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕**号）等有关规定，现将 ******院**年**月采购意向公开 如下：
                
    序号 采购项目名称 采购需求概况 预算金额（元） 预计采购时间（填写到月） 备注
    1 半导体器件光刻系统 包括电子束（光学）曝光机、涂胶机、清洗机、光学显微镜、桌面电极蒸镀仪及其附属小型附件设备，形成一套半导体器件光刻系统 ****** **年**月
    2 原子层沉积设备 1. 前驱体供给系统，挥发性液态通道3个，难挥发及固态前驱体通道2个，气态前驱体通道1个；2.控制精度可达到0.**-*.5纳米/周期; 3. ALD反应器直径应大于等于50 mm,最高加热温度400度；4. ALD腔体真空度达到1Pa；5.搭配高精度真空压力表，上限1KPa,精度不低于0.5级；6.6路流量精确控制，*-*** sccm；7.6路温度控制，控制精度1℃；8. 最多实现18组阀门开关时序控制；9.搭配ALD反应控制程序，实现多种薄膜模式生长；10.搭配控制柜、******处理系统等；11.预装ALD膜厚在线检测系统，探测精度0.1埃；12.预留高温ALD反应模块接口 700000 **年**月
    3 飞秒激光系统 超快激光系统包含飞秒激光器与线性光学参量放大器。 其中飞秒激光器主要技术指标：1）最大平均功率：≥20W@100kHz-200kHz；2）脉宽：＜290fs，脉宽调谐范围：******<1.2；5）基本重复频率：1Hz—200kHz可调；6）中心波长：1030±10nm；7）脉冲与脉冲的稳定性：<0.5% rms over 24 hours（在稳定的环境下）；8）输出功率稳定性：<0.5% over 100 hours；9）前置脉冲对比度：＜1: 1000；10）后置脉冲对比度：＜1:200；11）光束指向稳定性：<20μrad/°C。 其中线性光学参量放大器主要技术指标：1）支持最大输入功率：80W；2）支持最大泵浦能量：400μJ；3）波长调谐范围：******>4.5% @信号光，>2% @闲频光，泵浦能量为**-***uJ时，>9% @信号光，>4% @闲频光；5）脉冲能量稳定性：<2% rms@800nm ；6）脉冲带宽：**-***cm-1@***-***nm；7）脉冲宽度：***-***fs；8）激光器和光学参量放大器通过电脑软件控制。 ****** **年**月
    4 超快瞬态吸收光谱仪 其中超快瞬态吸收光谱主机主要技术指标：1）检测模式：透射/反射模式可切换 ；2）光谱探测：可见光光谱仪配高速 COMS 线阵传感器 ；3）可见区白光光谱探测范围：****** 600000 **年**月
    5 DGL-V湿度控制气液配气系统 气路通道包括 1 路背景气路、1 路载气气路、4 路目标气体气路（可以作为液体配气的参比气路）和 1 路目标液体气路；2 路湿气气路（干气和湿气） 790000 **年**月
    6 CGS-MT光电气综合测试平台 电学分析系统、原位电学冷热台、静态配气模块、LED 光激发模块、可扩展功能 340000 **年**月
    7 AES-4SD柔性电子综合测试平台 原位力电冷热台、电学分析系统、 温控模块、力电同步测量软件、LED 光激发模块、观测模块 590000 **年**月
    8 AES-4TH环境可控的探针测试平台 综合性能分析平台，可用于气敏、湿敏、光敏、光敏气敏、FET、电化学等多方向的性能研究，适合各类敏感材料、微纳器件、晶体管、二极管、功率半导体、LED 等的性能分析，特别适合 MEMS 器件、FET器件、传感器芯片等研究 550000 **年**月
    9 云帆TD3030对喷型静电纺丝 高压电源、三套高精尖微量泵、移动平台、环境控制精确、接收器多样化 通过更改部件可以进行纱线纺织 300000 **年**月
    10 多功能半导体参数测试系统 由测试分析仪主机、功率源测量单元模块，探针台，光源系统等组成。可对器件和材料的光电性能测试分析，可以测试薄膜晶体管，紫外探测器等多种光电器件。测量单元模块最大工作电压200V，电流0.1A，测试电流分辨率1pA，光源在紫外到可见光波段可调。 ****** **年**月
    11 大面积磁控溅射系统 磁控溅射；5英寸衬底；四靶材，共溅射；三个靶材为射频，一个靶材为直流；衬底加热最高温度700度；真空度10^-5Pa；三路气体；计算机控制；配备冷水机；生长氧化物薄膜材料为主，也可沉积金属薄膜。 ****** **年**月
          本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
      


                            
        ******院  

     
        **年**月**日  

















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