【西安微电子技术研究所先进封装厂房及配套基础设施建设项目特气工程】资审公告

发布时间：2018-05-19打印

信息摘要

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招标方式	公开招标	资格审查	资格预审
所属行业	科学研究和技术服务业	项目区域	陕西省
概况	先进封装厂房及配套基础设施建设项目（O2、H2、SiH4、CF4、H2/N2、C4F8、SF6、Ar、He、NF3、N2O、CO2、TEOS、XeCl混合气、NH3、C3F8共16种气体）特气、部分大宗气体及特气辅助气体N2等气体系统（含设备、管路、侦测及自控系统等）设计、所有设备、管路及仪表、阀门、管架等附件的提供、安装、施工（含二次配）相关配套服务及质量检测；****处理设备安装（**处理器甲供，****处理设备由本特气工程施工单位提供和安装）。

招标人	西安微电子技术研究所
地址	太白南路**号

代理机构	******公司
地址	西安市高新六路与科技一路十字万象汇A座**楼

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