浙江大学温州研究院实验室热蒸发镀膜机采购采购项目采购公告

发布时间：2021-07-06打印

信息摘要

发布时间 2021-07-06 项目地区温州市
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公告内容

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一、项目信息

项目名称:************院实验室热蒸发镀膜机采购反向竞价采购项目

项目编号:************

项目联系人:****** 郑丽丽

项目联系电话:************

采购计划文号:******

采购计划金额（元）: ******

预算总额（元）:

项目所在行政区划编码:330304

项目所在行政区划名称:******瓯海区

二、采购单位信息

采购单位名称:************院

采购单位地址:******温州市国家大学科技园

采购单位联系人和联系方式:******金纯 ******

采购单位社会统一信用代码或组织机构代码:******MB******E

采购单位预算编码:900477

三、采购项目内容

序号	采购内容	品牌	规格型号	数量	技术参数或配置要求
1	1. 负责镀膜系统与手套箱系统的对接和调试； 2. 提供设备的操作培训；****处理培训，日常维护保养培训； 3. 提供样机蒸镀工艺培训，要求有专业的蒸镀工艺人员现场培训，包括有蒸镀技巧，共蒸发注意事项，掺杂蒸发技巧，常见有机材料选用注意事项等，并提供设备样机试用时的有机及金属材料,同时对各项指标进行验收，若不能满足客户实验需求，买方可退货；同时中标人还需要承担因此带来的一切损失和后果。 4.设备保修期年。免费保修时间自验收合格之日开始计算。并提供相应保修时间的原厂盖章的书面承诺书。 5.维修响应时间：电话响应2小时，到场响应72小时。在保修期内出现设备故障问题，一律免费上门维修更换零部件。过质保期后，同样免费上门维修，72小时内响应，仅收取零部件成本费用。 6.验收分为静态和动态验收，静态验收一般是根据厂家提供的验收参数，动态验收是仪器运行三个月之后做某些比较重要的相关参数验收。 7.软件终生自动免费升级。 8.交货期：接到用户通知后三个月内。	服务	服务	1
2	热蒸发镀膜机	方昇	FS380	2	主要技术参数工作条件: a、电力要求：380V AC(±10%), 50/60Hz, 10KW； b、气体要求：氮气纯度≥99.999%。压力：0.-.6mpa b、环境温度：-℃； c、相对湿度：小于60%； ★蒸镀腔室两个，两个腔室联动设计，中间有阀门隔开，可独立运行。样品可完成两个腔体之前自动的传递。采用一体式机架，控制部分与真空室集成在一起，可整体移动，采用优质进口铝型材搭建；机架底部安装支撑脚及脚轮，可随意推动；也可撑起地脚固定住设备；可安装尺寸100mm100mm以上的基片托盘。基片盘可旋转，采用伺服电机驱动，旋转速度-*转/分可调；提供4套掩膜板，图案根据客户要求设计，样片与掩膜板的配合间隙小于0.3mm。样片旋转要求采用磁流体密封，保证密封可靠性； ▲共16组蒸发源，有机蒸发源和金属蒸发源各8组；源与源之间配有防止交叉污染的防污板。有机和金属蒸发源各配备2台蒸发电源，功率1.4KW以上,每台电源可切换到4组蒸发源中任意1组。蒸发源电源具有恒流和恒压二种驱动驱动模式，二者可切换。蒸发电源可以通过软件控制，具体二段或以上升温过程控制，一段降温过程控制，也可以手动控制，此外，蒸发电源还可以通过膜厚仪PID（闭环控制），自动调节蒸发速率。金属蒸发源均带有水冷功能。采用石英晶振膜厚仪在线测量膜厚，可以实时测量蒸发的速度和厚度；膜厚仪速率测量显示精度优于0.01A/S，厚度精度1A；频率分辨率0.012Hz，频率稳定性±2ppm（-*度)，测量周期0.-秒可调。带有WINDOWS操作软件，可以PC机上操作，带有PID环功能，可通过膜厚仪自动控制蒸镀速率。石英晶振探头8个， 6MHz，采用快速卡扣式结构更换晶振片，避免用螺纹压紧式结构损坏晶振片，采用UBQD密封结构。腔体由SUS304制作，其内部尺寸约为380380580mm；腔体为方形，有前后二个可完全打开的门，一个为滑动式开启，用于连接手套箱，一个为旋转开启或滑动式开启，用于维护清理； ****处理，表面精糙度小于等于0.8；外表面采用拉丝抛光，表面精糙度小于等于0.8；整体要求美观，无擦伤及划痕；腔体漏率：整体漏率优于5X10^-10Pa.m^3/S，保压12小时，压强小于10Pa; ▲极限真空优于：2.510^-7torr；主泵抽速不低于700L/S，采用低温泵.；前级泵采用干泵，抽速不低于25立方米每小时；气动高真空插板阀，通径大于等于150mm；带有旁抽式结构，可不停主泵开启真空室。相关的阀门操作具体互锁保护功能，防止误操作； ★腔体充氮气，从大气抽至3*10^-6 torr的时间要求小于15分钟；采用PLC+PC机控制模式；真空系统的控制分为手动和自动二种模式，自动模式下，根据腔内压强自动执行相关泵，阀的启闭。带有蒸发电源控制模块，通过软件完成蒸发电源的自动升温，降温。也可手动输入控制数据。带有伺服控制模块，可完成旋转速度，旋转角度，定位角度的控制。可完成样品自动传递的操作。试机器件结构：HAT-CN(10 nm)/NPB(60 nm)/Alq(60 nm)/Liq(2 nm)/Al(120 nm) 需要达到最低器件性能：@电流密度5 mA/cm^2，电压4.8 V，3.6 cd/A，2.4 lm/W，色坐标（0.35,0.53），波峰532 nm 配置要求: 真空腔室 2个金属电极 8组有机电极 8组样品电动传送杆 1组膜厚仪 2台膜厚探头 8个加热电源 4台基片样品系统 2组真空系统，高真空设计，气密性良好。机械泵、低温泵、真空计及真空控制阀 2组软件包 (包括实验操作软件和膜厚监测软件) 2组工控机（包含显示器） 2台

服务要求:

报价时间:**年**月**日 10:00 - **年**月**日 10:09

四、保证金金额、收款银行、用户名及卡号

附件信息：

镀膜机技术要求.doc

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