一、项目名称：******真空气相沉积系统

二、项目编号：******S******

三、采购人：******中心

地址：******50号凌云楼0904室

邮编：215021　　　　　　　传真：******

联系人：******************，******

电子邮箱：******dingy@suda.edu.cn

技术联系人：******************

电子邮箱：******ydshi@suda.edu.cn

四、采购货物品名、数量及主要性能参数要求

真空气相沉积系统　　1套 

（一）主要技术性能指标及配置要求

1.总体要求

该系统包括过程控制系统、蒸发室、裂解室、沉积腔、真空系统，采用设定沉积压力的方式自动控制蒸发温度和沉积过程，从而实现薄膜可控制备。

1.1设备总占地面积不超过1平方米。

1.2机架底部安装支撑脚及脚轮，可随意推动；也可撑起地脚固定住设备。

2.过程控制系统

2.1 PC Windows操作系统，触摸屏操作界面；

2.2采用设定沉积压力的方式自动控制蒸发温度和沉积过程，保证沉积过程中压力的稳定性，压力稳定性±1mT；

2.3独立可设置的蒸发室温度，温度范围不小于室温～180℃，调整增量为1℃；

2.4独立可设置的裂解室温度，温度范围不小于室温～720℃，调整增量为1℃；

2.5独立可设置的沉积室压力，本底～100mT，调整增量为1mT；

2.6沉积结束后设备报警并自动关闭所有加热部件；

2.7可设定所有参数的带宽和报警值；

2.8沉积报告及历史数据导出；

2.9单次沉积膜厚0.1～75微米。

3.蒸发室

3.1不锈钢蒸发室及料门，料门配有耐高温密封圈及锁定装置；

3.2蒸发室及料门同步加热，以保证蒸发室内温度分布均匀；

3.3蒸发室装载原料容量不小于80g。

4.裂解室

4.1采用耐高温不锈钢材料裂解管，坚固耐用，清理方便，无需更换；

4.2双加热瓦包裹式加热，良好的隔热效果。

5.沉积腔

5.1采用可变换沉积腔结构，可安装不同类型和容量的沉积腔；

5.2采用全不锈钢圆筒结构，******处理，带玻璃观察窗及把手；

5.3不小于Φ300mm×300mm高，******处理8英寸硅片，为可移除式沉积腔应用灵活方便清理；

5.4带有旋转料盘、工料架及均匀气流分布的导流管；

5.5真空传感器拆卸维护方便，并带加热套，防止Parylene在传感器上沉积；

5.6沉积腔空载真空度（冷阱-75℃以下）：优于0.5Pa。

6.真空系统

6.1配置高品质机械旋片真空泵；

6.2抽真空时间：真空低于10mT小于30分钟（冷机开启的情况下）；

冷阱：

6.3冷阱为不锈钢结构，采用独立的机械冷机制冷，冷凝器探头可方便取出清洁；

6.4配备机械冷凝系统，最低冷凝温度低于-90℃（25℃环境下）。

7.安全

7.1设备所有加热部件均带有热保险，在控制系统出现故障时可切断加热器，防止部件损害和火灾；

7.2设备的高温、低温部位要有相应的安全警示标志。

8.培训及服务

8.1需提供设备质量证明文件、出厂检测报告，设备安装使用操作说明书；

8.2负责设备对接和调试，提供设备的操作培训；

8.3******处理培训，日常维护保养培训。

（二）质保期至少1年（验收合格后起算）。

五、评分标准

本次磋商采用综合评分法，总分为100分，具体内容如下：

（一）技术参数、配置及整体综合性能分（50分）

1．技术参数及配置（35分）

以供应商提供的能直接反映该产品技术参数的彩页或产品说明书等作为主要评判依据，其他情况由磋商小组根据实际情况进行评判。

（1）所提供产品多项不满足磋商公告要求（偏离），或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的，经磋商小组评审可作为无效响应文件。

（2）所提供产品不满足磋商公告要求（偏离）、配置不详、技术参数不明确、缺漏项的，******处扣4分。

2．综合性能情况（15分）

（1）所提供产品性能参数优于竞争性磋商文件中技术要求情况（磋商小组认为超出指标有意义的）（6分）。其中优于项，******处加2分。

（2）所提供产品的市场反馈情况（9分）。根据所提供产品的品牌影响力、市场占有率（同行业为主）、现有用户的反馈情况、使用所提供产品发表的学术论文情况等综合评定。

（二）价格分（35分）

1．基准价：满足竞争性磋商文件要求且价格最低的报价为基准价，基准价为满分35分；

2．其他供应商的报价得分按照下列公式计算：报价得分＝（基准价／报价）×35分。

（三）综合商务（15分）

1．综合实力（3分）

根据供应商综合实力评定。

2．售后服务与培训情况等（10分）

（1）质保期（3分）。符合磋商文件要求的，得1分，每增加一年质保期加1分。

（2）服务、技术支持与培训承诺情况（7分）。

根据磋商响应文件的相关承诺、******网点设置情况、服务响应时间、现有用户对产品售后服务情况及服务水平的反馈等综合评定。

3．其它优惠措施等（2分）

根据供应商提供的在磋商文件要求范围以外，磋商小组认可的优惠措施综合评定。

六、磋商响应报价应包括所报仪器设备费、安装调试费、测试验收费、培训费、运行维护费、税金（含美国产品被加征关税）、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的一切费用。

七、供应商资质要求

（一）具有独立承担民事责任的能力；

（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；

（三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；

（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；

（五）近三年内，在经营活动中没有重大违法记录；

（六）本项目不接受联合体报价。

八、磋商响应文件的组成

（一）磋商响应文件一般由下列材料组成（部分表格样式见附件1），复印件须加盖供应商公章，所有材料须按序装订成册：

1. 目录（磋商响应资料与页码对照表，原件）。

2. 磋商响应函（原件）。

3. 响应基本情况一览表（原件）。

4. 详细配置清单（原件）。

5. 技术规格偏离表（原件）。

6. 公司简介（******公司资质、公司业绩、公司荣誉等，原件）。

7. 资格证明材料

（1）营业执照、税务登记证以及组织机构代码证（复印件）。

（2）法定代表人授权书（原件）。

（3）法定代表人身份证明材料（如身份证、护照等）（复印件）。

（4）法人授权代表身份证明材料（如身份证、护照等）及单位社保证明（复印件）。

（5）供应商最新的年度审计报告或财务报告（复印件）。

（6）仪器设备生产或经营企业许可证（复印件，特殊行业必须提供）。

（7）仪器设备销售代理授权证明（进口货物非生产制造厂商投标的，须按第2.2条要求提供，专项授权书提供原件、代理证书提供复印件）。

（8）******中心出具的质量体系认证证书（例如：ISO、FDA、CE、3C等，国家强制要求的设备必须提供，复印件）。

（9）近三年来与本次磋商仪器设备相同产品的用户名单及联系方式（以教学、科研用户为主，原件）。

8. 服务措施、服务承诺（主要包括针对本项目的服务、培训方案及其他优惠措施等）（原件）。

9. 供应商认为应该提供的其他材料。

（二）特别说明

1. “磋商响应文件”应装订并密封，并加盖投标单位公章。

2. 正本一份，副本三份，如副本与正本有出入，以正本为准；

3. 相关材料及填写规范按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行。

九、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，参照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第21条中的要求执行。

十、磋商文件价格：人民币500元（相关缴纳事宜详见附件3），售后不退。

十一、供应商在报名前，须认真阅读《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》和本磋商公告，完全了解并接受其所有条款及要求，并在2024年7月8日12：00前将报名函（格式见附件）******处（dingy@suda.edu.cn）。

十二、递交磋商响应文件相关事宜：

（一）顺丰快递（建议优先采用）

1. 寄达时间：2024年7月10日9：00前；

2. 收件人信息：

　收件人：丁老师

　联系方式：************

　收件地址：******50号凌云楼0904室

（二）现场递交

1. 现场递交时间：2024年7月10日8：30～9：00

2. 现场递交地点：******50号苏州大学东校区东大门

十三、递交磋商文件截止时间：2024年7月10日9：00。

十四、磋商时间：2024年7月10日9：00。